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高壓開關配電室SF6環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)的設計

更新時間:2023-10-27      點擊次數:985

開關室是電廠、變電站等設備集中的地,尤其是裝SF6設備的開關,平時因為通風不良可能會缺氧或因設備SF6氣體泄漏而污染室內環(huán),使進入開關室進行巡視、檢修的工作人員的健康甚至生命受到嚴重威,給電力安全運行帶來隱患。因,國內《電業(yè)安全工作規(guī)程》特別規(guī),在相關場所安裝氧氣SF6檢測報警裝,并安裝必要的通風換氣裝置。同,從環(huán)保的角度來考,在電廠、變電站、高壓開關廠等相關場所也有必要安SF6檢測報警裝置。因,設計一套SF6濃度、氧氣含量、溫度、濕度等參數為一,同時具備自動控制現場排風扇進行排風功能SF6環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)是十分必要的。

1系統(tǒng)組成及功能

1.1SF6氣體濃度檢測方法的比較

空氣中微量SF6氣體濃度的檢測是比較困難,以前所采用的方法主要:紅外吸收法、放射源型電子捕獲檢定器法、電火花電離法及半導體傳感器等方法。紅外吸收法和放射源型電子捕獲檢定器法反應速度快、靈敏度較,但價格昂,設備體積;電火花電離法是放射源型電子捕獲檢定器法的簡易,即利用高頻電壓放電火花的方法取代放射,而形成一個了離子(),而此基流在接觸SF6等強電負性的物資時會使其基流下,從而檢測SF6氣體的濃度。此種方法靈敏度高、非線,容易受空氣中其他物(如水)及溫度的影,尤其是放電電極的熔蝕現,使其產生的基流極不穩(wěn)定。因,此方法常用于便攜式鹵族元素及其化合物的檢漏使,半導體傳感器的方法靈敏度較,溫度、濕度等環(huán)境的影響非常,穩(wěn)定性,因此應用較少。上述的幾種方法都是物理方,并且這幾種方法都有一定的缺,所以上述幾種方法都沒有被廣泛應用。

近幾年發(fā)展起來的電化學傳感器檢測技術逐漸成,并且由于電化學傳感器具有靈敏度高、線性范圍寬、穩(wěn)定性好、使用壽命長、價格低等優(yōu),使其在氣體檢測方面得到了廣泛的應用。但,SF6氣體的分子結構極其穩(wěn),無法使用電化學傳感器直接對其進行測,,系統(tǒng)采用熱裂-電化學復合檢測技術。由儀器內置的吸氣泵使SF6氣體吸入儀器并通過熱裂解器使其發(fā)生裂解反,其分解產物與空氣中的氧氣、水等化合后生成二次產,利用電化學傳感器檢測其二次反應的生成物就可以達到間接測SF6氣體的目的。SF6濃度的檢測就是采用電化學傳感器進行設計的。

1.2系統(tǒng)組成

系統(tǒng)由監(jiān)控主機、多功能控制器SF6氣體采集器、SF6濃度電化學傳感器、氧氣探測器、溫度變送器、濕度變送器、紅外傳感器等組成。

1.3系統(tǒng)功能

監(jiān)控主機主要完成數據采集、數據顯示、報警數據存儲、發(fā)送控制指令、報警指示、數據上傳、軟硬復位等功,TFT64位真LCD液晶顯示屏、鍵盤操作面板RS485總線接,具有靈活的人機交流功能。

多功能控制器控SF6采集器中的氣泵及電磁,分時將各個通道SF6氣體從現場抽SF6采集器的氣室,SF6濃度電化學傳感器的內置泵從氣室內吸SF6,采用熱裂-電化學復合檢測技術對采集到SF6氣體濃度進行分,并將結果轉換420mA的標準信號送到多功能控制,多功能控制器通RS485,將測量結果送到監(jiān)控主機進行顯示、報警、存儲。

由于氧氣傳感器、溫度傳感器、濕度傳感器已經采用RS485總線的通訊方,因此配電室環(huán)境中的氧氣含量、溫度信號、濕度信號通RS485總線直接與監(jiān)控主機連,監(jiān)控主機將對接收到的信號進行分析判斷、顯示、報警、存儲。

2工作原理

2.1監(jiān)控主機的工作原理

監(jiān)控主機是系統(tǒng)中一個重要組成部,采用嵌入式操作系統(tǒng),大屏LCD液晶顯示,鍵盤操作面,圖形界面友,其控制流程如2所示。

監(jiān)控主機依次與多功能控制器、氧氣探測器、溫度變送器、濕度變送器進行通,讀取各個通SF6濃度、氧氣含量、溫度、濕度的數,當監(jiān)控主機檢測到配電室中某通SF6氣體的濃度超10-3,或者氧氣的含量低18%,系統(tǒng)將自動啟動排風扇進行排,并發(fā)SF6氣體濃度超標或氧氣含量過低的聲響報,SF6氣體濃度數值、氧氣含量數值、通道位置等報警信息通RS485總線或網絡傳輸的方,傳送到有關負責人及維修人員的辦公,提示工作人員進行及時的維,避免產生重大的生產事,同時提示進入配電室工作的工作人員作好防護措施。

,為了保SF6配電室中的空氣暢,還專門設計了定時自動啟動排風扇的功,即工作人員可以根據需,自行設定幾個時間,當設定的時間到,系統(tǒng)將自動啟動排風扇排,并且每次排風的時間也可以根據需要設定。為*大程度地保護工作人員的身體健,還設定了手動開啟和停止排風扇的手動開,工作人員可以根據需要隨時開啟和停止排風扇。另,系統(tǒng)采用紅外傳感,無論什么時,只要有工作人員進SF6配電,紅外傳感器都能夠感知,并且自動啟動排風扇進行排,保護進入現場的工作人員生命安全。

2.2多功能控制器的工作原理

2.2.1多功能控制器的硬件設計

多功能控制器是系統(tǒng)中另一個重要的組成部,P89V51RD2單片機作為檢測、控制的核,AD7705模數轉換器進行數據采,采用繼電器、電磁閥控制采集通道的切,485總線方式進行通訊。其硬件結構框圖如3所示。

img1 

2.2.2多功能控制器的軟件設計

多功能控制器循環(huán)檢SF6的濃,A/D,將數值轉換為數字,保存P89V51RD2單片機RAM,P89V51RD2單片機的串行口工作在中斷的工作方式,MAX485芯片與監(jiān)控主機進485通訊。當監(jiān)控主機向其發(fā)送讀取數據的命令,多功能控制器就SF6濃度的數值、通道的信息、報警信息發(fā)送到監(jiān)控主;當設定的通道采集時間到,多功能控制器通過控制繼電器、電磁閥、吸氣泵等設,完成通道的切換SF6氣體的采集。

3安科瑞配電室環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)

3.1概述

配電室綜合監(jiān)控系統(tǒng)包括智能監(jiān)控系統(tǒng)屏、通訊管理機UPS電源、視頻監(jiān)控子系統(tǒng)(云臺球機、槍機)、環(huán)境監(jiān)測子系統(tǒng)(溫度、濕度、水浸、煙感)、控制子系統(tǒng)(燈光、空調、除濕機、風機、水泵)、門禁監(jiān)控子系統(tǒng)(讀卡器、開門按鈕、磁力鎖)、安防監(jiān)控子系統(tǒng)(雙鑒檢測器)。

3.2應用場所

適用于軌道交通,工業(yè),建筑,學校,商業(yè)綜合體35kV及以下用戶端供配電自動化系統(tǒng)工程設計、施工和運行維護。

3.3系統(tǒng)結構

img2 

3.4系統(tǒng)功能

3.4.1實時監(jiān)測

能夠顯示配電室設備的運行狀態(tài),實時監(jiān)測配電室環(huán)境參數信息,實時顯示有關故障、告警等信息。

3.4.2數據查詢

在人機界面中,可以直接查看配電室中各個設備的運行數據。

img3 

3.4.3曲線查詢

可以直接查看各電參量曲線。

img4 

3.4.4運行報表

查詢配電室內設備的運行數據報表。

img5 

3.4.5實時告警

具有實時告警功能,系統(tǒng)能夠對配電室溫度、濕度、有害氣體、設備故障或通信故障等事件發(fā)出告警。

img6 

3.4.6歷史事件查詢

能夠對產生的所有事件記錄進行存儲和管理,方便用戶對系統(tǒng)事件和進行歷史追溯、查詢統(tǒng)計、事故分析。 

img7 

3.4.7用戶權限管理

設置了用戶權限管理功能,可以定義不同級別用戶的登錄名、密碼及操作權限。

img8 

3.4.8網絡拓撲圖

支持實時監(jiān)視并診斷各設備的通訊狀態(tài),能夠完整的顯示整個系統(tǒng)網絡結構。

img9 

3.4.9遙控功能

可以對整個配電系統(tǒng)范圍內的設備進行遠程遙控操作。

img10 

3.5系統(tǒng)硬件配置

名稱

型號

圖片

功能

系統(tǒng)

ACREL-2000E

img11 

Acrel-2000E配電室綜合監(jiān)控系統(tǒng),可實現開關柜運行監(jiān)控、高壓開關柜帶電顯示、母線及電纜測溫監(jiān)測、環(huán)境溫濕度監(jiān)測、有害氣體監(jiān)測、安防監(jiān)控,可對燈光、風機、除濕機、空調控制等設備進行聯動控制。實現動力環(huán)境各數據的檢測與設備控制,優(yōu)化動力環(huán)境,避免運行環(huán)境的失控導致配電設備運行故障,保證維護人員安全,延長設備使用壽命,實現配電動力環(huán)境的分布式遠程管理。

智能通信管理機

Anet-2E4SM

img12 

通用網關,2路網口,4RS485,可選1LORA,帶電告警功能,支4854G從模塊擴展。

主機

Acrel-2000E/A

img13 

數據采集、狀態(tài)監(jiān)測、設備控制、報警事件記錄查詢,可以根據采集到的設備數據或狀態(tài)聯動啟動風機、聲光報警器、空調、水泵等設備。

Acrel-2000E/B

img14 

參數設置、通信管理、圖形繪制、狀態(tài)監(jiān)測、設備控制、視頻監(jiān)控和回放、報警事件記錄查詢、報警圖片和視頻查詢功能。

Acrel-2000E/M

img15 

參數設置、通信管理、圖形繪制、狀態(tài)監(jiān)測、設備控制、視頻監(jiān)控和回放、報警事件記錄查詢、報警圖片和視頻查詢功能。立柜式安裝。

Acrel-2000E/G

img16 

參數設置、通信管理、圖形繪制、狀態(tài)監(jiān)測、設備控制、視頻監(jiān)控和回放、報警事件記錄查詢、報警圖片和視頻查詢功能。立柜式安裝

環(huán)境監(jiān)測硬件

RS-WS-NO1-8

img17 

用于配電房溫度和濕度。工作電源AC/DC85265V工作溫度-40099。9工作濕度0%RH99%RH

BRJ-307

img18 

光電式煙霧傳;電源正極DC12V+12V,繼電器輸出:常開觸點

RS-SJ-N01R01-2

img19 

接觸式水浸傳感器,監(jiān)測變電所、電纜溝、控制室等場所積水情況,工作電源DC10-30V工作溫度-20~+60工作濕度0%RH~80%RH響應時間1s繼電器輸出:常開觸點

環(huán)境監(jiān)測硬件

T35-II-5。6

img20 

4800,帶溫控器,帶消聲段,電機變頻

AT8002

img21 

常開型;感應距離30-50mm材質:鋅合金,銀灰色電度干接點輸出

DS-2DC6120BY-A

img22 

視頻監(jiān)控

ARTU-KJ8

img23 

8路開關量輸入8路繼電器輸出

4結束語

實現高壓開關配電室環(huán)境SF6氣體的監(jiān),對電力行業(yè)、高壓開關生產廠家的安全生,保障現場工作人員的身體健,都有著重要的意義。隨著國內工業(yè)的不斷發(fā),電力的需求也必將迅速增,必然會新建更多的電廠、變電,高壓開關配電SF6環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)必然有廣泛的應用前景。

參考文:

[1]陳家.SF6斷路器實用技.:中國水利水電出版,2004.

[2]孔祥.SF6氣體在線檢測裝置的設.西:第九屆全國敏感元件與傳感器學術會議論文,2005:466-469.

[3]求是科.單片機典型模塊設計實例導.:清華大學出版,2004.

[4]朱善,孫新,吉吟.單片機接口技術與應.:清華大學出版,2005:217-224.

[5]馬忠,籍順,,.單片機C語言應用程序設.:北京航空航天大學出版,2003.

[6]徐愛,彭秀.單片機高級語C51Windows環(huán)境編程與應.:電子工業(yè)出版,2001.

[7]何方,呂成.高壓開關配電SF6環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)的設[J].

[8]企業(yè)微電網設計與應用手2022.05.

開關室是電廠、變電站等設備集中的地,尤其是裝SF6設備的開關,平時因為通風不良可能會缺氧或因設備SF6氣體泄漏而污染室內環(huán),使進入開關室進行巡視、檢修的工作人員的健康甚至生命受到嚴重威,給電力安全運行帶來隱患。因,國內《電業(yè)安全工作規(guī)程》特別規(guī),在相關場所安裝氧氣SF6檢測報警裝,并安裝必要的通風換氣裝置。同,從環(huán)保的角度來考,在電廠、變電站、高壓開關廠等相關場所也有必要安SF6檢測報警裝置。因,設計一套SF6濃度、氧氣含量、溫度、濕度等參數為一,同時具備自動控制現場排風扇進行排風功能SF6環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)是十分必要的。

1系統(tǒng)組成及功能

1.1SF6氣體濃度檢測方法的比較

空氣中微量SF6氣體濃度的檢測是比較困難,以前所采用的方法主要:紅外吸收法、放射源型電子捕獲檢定器法、電火花電離法及半導體傳感器等方法。紅外吸收法和放射源型電子捕獲檢定器法反應速度快、靈敏度較,但價格昂,設備體積;電火花電離法是放射源型電子捕獲檢定器法的簡易,即利用高頻電壓放電火花的方法取代放射,而形成一個了離子(),而此基流在接觸SF6等強電負性的物資時會使其基流下,從而檢測SF6氣體的濃度。此種方法靈敏度高、非線,容易受空氣中其他物(如水)及溫度的影,尤其是放電電極的熔蝕現,使其產生的基流極不穩(wěn)定。因,此方法常用于便攜式鹵族元素及其化合物的檢漏使,半導體傳感器的方法靈敏度較,溫度、濕度等環(huán)境的影響非常,穩(wěn)定性,因此應用較少。上述的幾種方法都是物理方,并且這幾種方法都有一定的缺,所以上述幾種方法都沒有被廣泛應用。

近幾年發(fā)展起來的電化學傳感器檢測技術逐漸成,并且由于電化學傳感器具有靈敏度高、線性范圍寬、穩(wěn)定性好、使用壽命長、價格低等優(yōu),使其在氣體檢測方面得到了廣泛的應用。但,SF6氣體的分子結構極其穩(wěn),無法使用電化學傳感器直接對其進行測,,系統(tǒng)采用熱裂-電化學復合檢測技術。由儀器內置的吸氣泵使SF6氣體吸入儀器并通過熱裂解器使其發(fā)生裂解反,其分解產物與空氣中的氧氣、水等化合后生成二次產,利用電化學傳感器檢測其二次反應的生成物就可以達到間接測SF6氣體的目的SF6濃度的檢測就是采用電化學傳感器進行設計的。

1.2系統(tǒng)組成

系統(tǒng)由監(jiān)控主機、多功能控制器、SF6氣體采集器、SF6濃度電化學傳感器、氧氣探測器、溫度變送器、濕度變送器、紅外傳感器等組成。

1.3系統(tǒng)功能

監(jiān)控主機主要完成數據采集、數據顯示、報警數據存儲、發(fā)送控制指令、報警指示、數據上傳、軟硬復位等功,TFT64位真LCD液晶顯示屏、鍵盤操作面板、RS485總線接,具有靈活的人機交流功能。

多功能控制器控SF6采集器中的氣泵及電磁,分時將各個通道SF6氣體從現場抽SF6采集器的氣室,SF6濃度電化學傳感器的內置泵從氣室內吸SF6,采用熱裂-電化學復合檢測技術對采集到SF6氣體濃度進行分,并將結果轉換420mA的標準信號送到多功能控制,多功能控制器通RS485,將測量結果送到監(jiān)控主機進行顯示、報警、存儲。

由于氧氣傳感器、溫度傳感器、濕度傳感器已經采用RS485總線的通訊方,因此配電室環(huán)境中的氧氣含量、溫度信號、濕度信號通RS485總線直接與監(jiān)控主機連,監(jiān)控主機將對接收到的信號進行分析判斷、顯示、報警、存儲。

2工作原理

2.1監(jiān)控主機的工作原理

監(jiān)控主機是系統(tǒng)中一個重要組成部,采用嵌入式操作系統(tǒng),大屏LCD液晶顯示,鍵盤操作面,圖形界面友,其控制流程如2所示。

監(jiān)控主機依次與多功能控制器、氧氣探測器、溫度變送器、濕度變送器進行通,讀取各個通SF6濃度、氧氣含量、溫度、濕度的數,當監(jiān)控主機檢測到配電室中某通SF6氣體的濃度超10-3,或者氧氣的含量低18%,系統(tǒng)將自動啟動排風扇進行排,并發(fā)SF6氣體濃度超標或氧氣含量過低的聲響報,SF6氣體濃度數值、氧氣含量數值、通道位置等報警信息通RS485總線或網絡傳輸的方,傳送到有關負責人及維修人員的辦公,提示工作人員進行及時的維,避免產生重大的生產事,同時提示進入配電室工作的工作人員作好防護措施。

,為了保SF6配電室中的空氣暢,還專門設計了定時自動啟動排風扇的功,即工作人員可以根據需,自行設定幾個時間,當設定的時間到,系統(tǒng)將自動啟動排風扇排,并且每次排風的時間也可以根據需要設定。為*大程度地保護工作人員的身體健,還設定了手動開啟和停止排風扇的手動開,工作人員可以根據需要隨時開啟和停止排風扇。另,系統(tǒng)采用紅外傳感,無論什么時,只要有工作人員進SF6配電,紅外傳感器都能夠感知,并且自動啟動排風扇進行排,保護進入現場的工作人員生命安全。

2.2多功能控制器的工作原理

2.2.1多功能控制器的硬件設計

多功能控制器是系統(tǒng)中另一個重要的組成部,P89V51RD2單片機作為檢測、控制的核,AD7705模數轉換器進行數據采,采用繼電器、電磁閥控制采集通道的切,485總線方式進行通訊。其硬件結構框圖如3所示。

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2.2.2多功能控制器的軟件設計

多功能控制器循環(huán)檢SF6的濃,A/D,將數值轉換為數字,保存P89V51RD2單片機RAM,P89V51RD2單片機的串行口工作在中斷的工作方式,MAX485芯片與監(jiān)控主機進485通訊。當監(jiān)控主機向其發(fā)送讀取數據的命令,多功能控制器就SF6濃度的數值、通道的信息、報警信息發(fā)送到監(jiān)控主;當設定的通道采集時間到,多功能控制器通過控制繼電器、電磁閥、吸氣泵等設,完成通道的切換SF6氣體的采集。

3安科瑞配電室環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)

3.1概述

配電室綜合監(jiān)控系統(tǒng)包括智能監(jiān)控系統(tǒng)屏、通訊管理機、UPS電源、視頻監(jiān)控子系統(tǒng)(云臺球機、槍機)、環(huán)境監(jiān)測子系統(tǒng)(溫度、濕度、水浸、煙感)、控制子系統(tǒng)(燈光、空調、除濕機、風機、水泵)、門禁監(jiān)控子系統(tǒng)(讀卡器、開門按鈕、磁力鎖)、安防監(jiān)控子系統(tǒng)(雙鑒檢測器)。

3.2應用場所

適用于軌道交通,工業(yè),建筑,學校,商業(yè)綜合體35kV及以下用戶端供配電自動化系統(tǒng)工程設計、施工和運行維護。

3.3系統(tǒng)結構

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3.4系統(tǒng)功能

3.4.1實時監(jiān)測

能夠顯示配電室設備的運行狀態(tài),實時監(jiān)測配電室環(huán)境參數信息,實時顯示有關故障、告警等信息。

3.4.2數據查詢

在人機界面中,可以直接查看配電室中各個設備的運行數據。

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3.4.3曲線查詢

可以直接查看各電參量曲線。

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3.4.4運行報表

查詢配電室內設備的運行數據報表。

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3.4.5實時告警

具有實時告警功能,系統(tǒng)能夠對配電室溫度、濕度、有害氣體、設備故障或通信故障等事件發(fā)出告警。

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3.4.6歷史事件查詢

能夠對產生的所有事件記錄進行存儲和管理,方便用戶對系統(tǒng)事件和進行歷史追溯、查詢統(tǒng)計、事故分析。 

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3.4.7用戶權限管理

設置了用戶權限管理功能,可以定義不同級別用戶的登錄名、密碼及操作權限。

img31 

3.4.8網絡拓撲圖

支持實時監(jiān)視并診斷各設備的通訊狀態(tài),能夠完整的顯示整個系統(tǒng)網絡結構。

img32 

3.4.9遙控功能

可以對整個配電系統(tǒng)范圍內的設備進行遠程遙控操作。

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3.5系統(tǒng)硬件配置

名稱

型號

圖片

功能

系統(tǒng)

ACREL-2000E

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Acrel-2000E配電室綜合監(jiān)控系統(tǒng),可實現開關柜運行監(jiān)控、高壓開關柜帶電顯示、母線及電纜測溫監(jiān)測、環(huán)境溫濕度監(jiān)測、有害氣體監(jiān)測、安防監(jiān)控,可對燈光、風機、除濕機、空調控制等設備進行聯動控制。實現動力環(huán)境各數據的檢測與設備控制,優(yōu)化動力環(huán)境,避免運行環(huán)境的失控導致配電設備運行故障,保證維護人員安全,延長設備使用壽命,實現配電動力環(huán)境的分布式遠程管理。

智能通信管理機

Anet-2E4SM

img35 

通用網關,2路網口4RS485,可選1LORA,帶電告警功能,支485,4G從模塊擴展。

主機

Acrel-2000E/A

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數據采集、狀態(tài)監(jiān)測、設備控制、報警事件記錄查詢,可以根據采集到的設備數據或狀態(tài)聯動啟動風機、聲光報警器、空調、水泵等設備。

Acrel-2000E/B

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參數設置、通信管理、圖形繪制、狀態(tài)監(jiān)測、設備控制、視頻監(jiān)控和回放、報警事件記錄查詢、報警圖片和視頻查詢功能。

Acrel-2000E/M

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參數設置、通信管理、圖形繪制、狀態(tài)監(jiān)測、設備控制、視頻監(jiān)控和回放、報警事件記錄查詢、報警圖片和視頻查詢功能。立柜式安裝。

Acrel-2000E/G

img39 

參數設置、通信管理、圖形繪制、狀態(tài)監(jiān)測、設備控制、視頻監(jiān)控和回放、報警事件記錄查詢、報警圖片和視頻查詢功能。立柜式安裝

環(huán)境監(jiān)測硬件

RS-WS-NO1-8

img40 

用于配電房溫度和濕度。工作電源AC/DC85265V工作溫度-40。099。9工作濕度0%RH99%RH

BRJ-307

img41 

光電式煙霧傳;電源正極DC12V+12V,繼電器輸出:常開觸點

RS-SJ-N01R01-2

img42 

接觸式水浸傳感器,監(jiān)測變電所、電纜溝、控制室等場所積水情況,工作電源DC10-30V工作溫度-20~+60工作濕度0%RH~80%RH響應時間1s繼電器輸出:常開觸點

環(huán)境監(jiān)測硬件

T35-II-5。6

img43 

4800,帶溫控器,帶消聲段,電機變頻

AT8002

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常開型;感應距離30-50mm材質:鋅合金,銀灰色電度干接點輸出

DS-2DC6120BY-A

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視頻監(jiān)控

ARTU-KJ8

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8路開關量輸入,8路繼電器輸出

4結束語

實現高壓開關配電室環(huán)境SF6氣體的監(jiān),對電力行業(yè)、高壓開關生產廠家的安全生,保障現場工作人員的身體健,都有著重要的意義。隨著國內工業(yè)的不斷發(fā),電力的需求也必將迅速增,必然會新建更多的電廠、變電,高壓開關配電SF6環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)必然有廣泛的應用前景。

參考文:

[1]陳家.SF6斷路器實用技.:中國水利水電出版,2004.

[2]孔祥.SF6氣體在線檢測裝置的設.西:第九屆全國敏感元件與傳感器學術會議論文,2005:466-469.

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